大量角EDS探测器对高端材料研究的干细胞
例子——半导体结构
单一EDS探测器透射电子显微镜必须符合特定的几何约束。一个大立体角为x射线集合是不够的。高起飞角,一个合适的准直器的形状或者极片封面和适应试样架几何是至关重要的成功EDS分析和帮助保持跟踪和系统的峰值。一个大的椭圆形探测器区域(例如100毫米2)可以支持所有这些参数的优化对于某些情况。然而,对于其他TEM几何约束带来的冷阱和极片形状,可能只可能由较小的探测器领域(地址30毫米2和60毫米2)。只有仔细评估每个显微镜几何将确保正确的探测器的选择。bob电竞安全吗力量的探测器款超薄的线性设计有助于上述所有情况。
的XFlash®6 t - 100椭圆形茎,安装在一个畸变纠正,被用来评估元素分布在一个横截面试样准备从FinFET结构。(数据由:ACE,图1)。正确的评价这半导体结构的化学成分分离线重叠元素尤为重要,如镍和钛的低能量范围,高频,Si和W之间1.4 keV和2凯文,以及从通用电气和W 10 keV重叠线。此外,残留的Ga离子铣和二次荧光显微镜内部和标本夹可以使分析变得复杂。bob电竞安全吗力量的精灵软件提供舒适的手段解决这些问题(图2)。重叠元素可以很容易识别。明确的背景模型和背景减法处理有助于考虑并确定每一行出现在光谱。系统的峰值经常可以被识别和排除在量化而纠正对定量结果的影响。相对Cliff-Lorimer-factor和绝对Zeta-factor可供量化方法。
这里Cliff-Lorimer方法应用于量化样本中的元素分布。理论Cliff-Lorimer因素使用,计算从ESPRIT的原子数据库不断更新和已知detector-specimen探测器几何和材料组成。所有元素的分布,包括铪和钛、氮,每个设备设计,在薄层,定量分析。结果数据、结构的质量可以通过纳米精度评估和潜在的原因可以找到设备故障(图1 - 3)。
请考虑以下同行revied出版物的进一步应用高固体含量的角椭圆探测器在其他领域的研究。bob平台靠谱吗
[1]个人杂原子与x射线光谱识别(开放)
108年应用物理信卷163101 (2016);作者:r·m·斯特劳德·t·c·洛夫乔伊·m·Falke n . d . Bassim g·j·卡宾,n . Dellby p . Hrncirik a . Kaeppel m . Noack w·哈恩·m·罗德,o . l . Krivanek
[2]直接原子尺度磁离子测定在室温多铁性材料分区(开放)
科学报告7(2017)文章编号:1737;作者:l·基尼等。
