AcuityXr
增强3D光学表面剖面的横向分辨率
白光干涉法被牢固地确定为研究人员和制造商可用的最快，最准确，最通用的表面测量技术之一。然而，与原子力显微镜或扫描电子显微镜系统相比，干涉法的一个缺点是有限的横向分辨率。bob电竞安全吗布鲁克（Bruker）开发了一种革命性的干涉测量技术，该技术有效地克服了这种光学衍射极限，而不会损害白光干涉仪的其他好处。
AcuityXr®结合了独特的，正在申请专利的布鲁克硬件和软件技术，以使选择Contbob电竞安全吗our 3D光学表面剖面仪打破光学衍射极限并提供以前认为使用常规光学显微镜技术无法实现的横向分辨率。它在光滑的表面上起作用，在该表面上，反射光的相位用于计算白色轻度开采信号的表面高度，从而提高了划痕，缺陷和表面纹理的清晰度，清晰度和定义。另外，纳米级结构上的尺寸可重复性提高了5倍。
用标准PSI（左）进行的350nm线宽测量值很少，而AcuityXR PSI（右）显示出高水平的特征分化。
用标准PSI（左）和AcuityXR PSI（右）拍摄的图像显示了AcuityXR PSI的巨大改善，能够使图像减少像素化，同时显示样品上适当的结构。
像素限制分辨率的插图。红色条代表每个像素中收集的整体光。由于相机像素间距不足，相邻功能将无法区分。
衍射限量分辨率的插图。功能比相机像素间距宽，但由于系统的光学元件而被模糊，在这种情况下，几乎没有分开。
通过系统建模，低噪声测量和多次表面扫描的组合，AcuityXR减少了由光学元件引起的模糊，从而显着增强了横向分辨率。对于狭窄的功能，它还提供了宽度变化的量化的显着增强，即使在小结构上也可以使过程控制成为可能。这是用于光栅制造过程监视，MEMS传感器临界维度测量和其他过程开发或质量控制用途的有价值的功能。基于申请专利的技术，AcuityXR与标准干涉测量相比，在X和Y方向上采样的两倍，极大地增强了使用Bruker 3D显微镜在应用范围应用中执行的光学辅助学的能力。bob平台靠谱吗bob电竞安全吗
