AcuityXR
提高三维光学表面轮廓仪的横向分辨率
白光干涉测量法被公认为是研究人员和制造商可用的最快、最准确、最通用的表面测量技术之一。然而，与原子力显微镜或扫描电子显微镜系统相比，干涉测量法的一个缺点是横向分辨率有限。bob电竞安全吗Bruker开发了一种革命性的干涉测量技术，有效地克服了光学衍射极限，而不影响白光干涉测量的其他优点。
AcuityXR®结合了独特的、正在申请专利的Bruker硬件和软件技术，使部分轮廓bob电竞安全吗3D光学表面剖面仪能够突破光学衍射极限，并提供以前认为传统光学显微镜技术无法实现的横向分辨率。它工作在光滑的表面上，反射光的相位用于从白光干涉信号计算表面高度，提高清晰度，清晰度，划痕，缺陷和表面纹理的定义。此外，纳米尺度结构的尺寸重复性提高了5倍。
350nm线宽测量标准PSI(左)和AcuityXR PSI(右)几乎没有特征分离，显示高度的特征分化。
使用标准PSI(左)和AcuityXR PSI(右)拍摄的图像显示，AcuityXR PSI在使图像像素减少的同时显示样品上适当的结构方面有了巨大的改进。
像素有限分辨率的插图。红色条表示在每个像素中收集到的整体光。由于相机像素间距不足，无法区分相邻的两个特征。
衍射有限分辨率的说明。特征比相机像素间距宽，但由于系统的光学特性而模糊，在这种情况下几乎没有分离。
通过结合系统建模、低噪声测量和多次表面扫描，AcuityXR减少了光学元件造成的模糊，显著提高了横向分辨率。对于狭窄的特征，它还提供了显著增强的宽度变化的量化，使过程控制即使在小型结构上也成为可能。这对于光栅制造过程监控、MEMS传感器临界尺寸测量和其他工艺开发或质量控制用途来说是一种有价值的能力。基于正在申请专利的技术，AcuityXR在X和Y方向的采样量是标准干涉测量的两倍，大大增强了布鲁克3D显微镜在一系列应用中的光学轮廓测量能力。bob平台靠谱吗bob电竞安全吗
