QC3
高分辨率X射线衍射系统
长期建立良好的QC系统针对结论者
高亮
QC3
QC3是针对表层的长期建立良好的QC系统。它是一种高分辨率X射线衍射工具，非常适合质量控制。它用于测量几乎所有材料的外延层中的组成和厚度。tHE系统使用标准密封管光学元件，并结合各种光束调节晶体，可以优化，可为每种应用提供最高的分辨率和强度组合。
完整的300mm旅行
允许同时测量大晶片或几个小晶片
功能
自动操作
QC3提供了真正的自动化操作，具有直接向前的水平样品安装以及完全自动化的对齐，测量和数据分析。数据分析可以自动执行，也可以使用我们流行的RADS软件离线。样品阶段具有完整的300毫米行程，可以同时测量大晶片或几个较小的晶圆。它是质压生长中QC测量的传统选择工具。
支持
支持
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