jvsensus - 600 f
在任何技术节点上验证和监控工艺工具，以减少周期时间，促进晶圆厂扩张
x射线衍射成像(XRDI)检测系统
亮点
jvsensus - 600 f
JVSensus-600F是为300mm Si器件制造商提供的x射线缺陷测量系统。它有助于识别使用最新的x射线衍射成像(XRDI)技术在晶圆生产过程中遇到的问题。bob平台靠谱吗应用包括监测边缘损伤，以防止代价高昂的晶圆在超快退火过程中破损。它可以在任何技术节点上验证和监控工艺工具，从而减少周期时间并促进晶圆厂扩张。
特点
轻松识别晶体缺陷
JVSensus使其用户能够在晶圆破裂发生之前识别出可能导致灾难性结构故障的裂纹和其他缺陷。一旦观察到缺陷，就可以执行无损截面检查图像来定位晶圆深度内的缺陷位置。
测量有图案的晶圆片
测量可以在不需要样品制备的情况下，在包层、图案化和金属化晶圆上进行。即使晶圆片上有图案，也能识别出缺陷。
检测滑
覆盖问题的主要原因是滑动。无论是逻辑模式晶圆，硅上氮化镓或锭片，JVSensus可以在几分钟内检测滑移。
支持
支持
我们如何提供帮助?
bob电竞安全吗Bruker与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发新一代技术，帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务继续下去，直到工具出售很久之后。
我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级，以及应用程序支持和培训，最大限度地提高您的生产力。