jvsensus - 600 f
对任何技术节点的工艺工具进行认证和监控，以减少周期时间，促进晶圆厂的扩展
x射线衍射成像(XRDI)检测系统
做marquants
jvsensus - 600 f
jvsense - 600f是300mm Si器件制造商的x射线缺陷测量系统。它帮助识别使用最新的x射线衍射成像(XRDI)技术在晶圆生产过程中遇到的问题。bob平台靠谱吗应用包括监控边缘损伤，以防止超快退火过程中昂贵的晶圆断裂。它可以在任何技术节点上验证和监控工艺工具，这减少了周期时间，促进了晶圆厂的扩展。
的特性
容易识别晶体缺陷
JVSensus使用户能够在晶圆破裂发生之前，识别可能导致灾难性结构故障的裂纹和其他缺陷。一旦缺陷被观察到，无损截面检查图像可以在晶圆深度内定位缺陷位置。
测量有图案的晶圆
测量可以在不需要样品制备的情况下，在毯状、图案化和金属化晶圆上进行。即使晶圆上有图样，缺陷也可以被识别出来。
检测滑
覆盖问题的主要原因是滑动。无论是逻辑模式晶圆，GaN on Si或锭片，JVSensus可以在几分钟内检测到滑移。
支持
支持
我们如何提供帮助?
bob电竞安全吗Bruker与客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，并帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务持续下去，直到工具被出售。
我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级，以及应用支持和培训，使您的生产力最大化。