尺寸边缘PSS
为LED衬底和外延制造商提供理想的计量和检测系统
做marquants
尺寸边缘PSS
bob电竞安全吗Bruker's Dimension Edge™PSS原子力显微镜配合AutoMET™计量软件是LED衬底和外延制造商理想的纳米计量和纳米检测系统。作为Dimension Edge AFM平台的扩展，Edge PSS结合了Dimension AFM系统闻名的不可思议的价值和分辨率，同时也为基底测量提供了基于生产的解决方案。
纳米
决议
分析了PSS衬底的各个关键参数。
< 0.2海里
噪声地板
提供裸基板和外延粗糙度测量。
生产级
易用性
在价值定价的工业AFM中提供最佳的用户体验。
的特性
PSS分析的最高分辨率
当花纹蓝宝石衬底(PSS)的间距低于2微米时，传统的共聚焦技术就失去了提供有价值的工艺测量所需的分辨率。尺寸边缘PSS原子力显微镜(AFM)以亚纳米分辨率解决了这一需求，并能够一次测量多达9个2英寸的晶圆(或单个4或6英寸晶圆)，提供所有必要的数据，以保持PSS制造过程在控制之下。
除了维边PSS内置的特定PSS测量功能，该系统还集成了维显微镜闻名的所有世界领先的Bruker AFM技术，包括用于外延粗糙度测量的高分辨率和低噪声，以及标准和专有的AFM模式，如TappingMode、接触模式、相位成像™和LiftMode™。bob电竞安全吗
平顶花纹蓝宝石衬底的三维AFM图像。
先进的PSS计量能力
尺寸边缘PSS系统能够增强PSS结构的分析。
尺寸边缘PSS AFM为PSS衬底的每个关键参数的分析提供纳米分辨率，同时自动收集整个晶圆和晶圆之间的信息。bob电竞安全吗Bruker的专用PSS分析包可以同时提供以下数据:
- 高度，宽度和间距
- 侧壁角度和特征轮廓
- 不对称识别与测量
- 污染识别
- 转弯识别和转弯角度
- 平顶识别
行业领先的自动化软件
Edge PSS集成了AutoMET软件，专门设计以满足LED制造要求。该软件具有两种不同的操作模式:
- 操作员级别-一个简单的用户界面，带有按钮，指导用户通过更换、对齐、调整和限定小费的步骤。单键操作最多可自动运行9个晶圆，具有简单的PASS/FAIL输出。
- 工程师级—密码保护的用户界面允许工程师访问所有关键的AFM参数。流程工程师还可以在此模式下轻松设置所有必要的通过/失败标准。
Dimension Edge PSS通过简单的激光对准和自动报告生成提高了操作人员的可用性，提供了在价值定价AFM中发布的最好的用户体验。
