XFlash FlatQUAD

的XFlash^®FlatQUAD，核心QUANTAX FlatQUAD，是基于一种新的探测器概念。这包括从极片和样品之间的侧面定位探测器。因此，探测器安装在扫描电镜室的水平端口上。传统的探测器很少延伸到极片下方，需要一个倾斜的端口。为了确保与许多不同类型的SEM兼容，探测器可以精确地定位在X, Y和Z方向。

XFlash的四个独立的硅漂移探测器芯片^®FlatQUAD呈环形排列，围绕在探测器模块的孔周围。主电子束通过这个开口。这种设计，以及保持探测器手指尽可能薄的意图，需要一种新的方法来防止反向散射电子到达探测器芯片。探测器配备了不同厚度的特殊聚合物窗。它们吸收背向散射的电子，同时允许x射线通过。聚合物窗安装在一个滑块中，可以在不影响真空的情况下改变它们。这使得SEM加速电压在探测器处于测量位置时发生变化。

位置及尺寸(4 × 15毫米²在扫描电镜中，探测芯片的有效面积(active area)为x射线收集提供了最大的立体角。根据具体的几何条件，超过1 sr是可能的组合与高起飞角60°或更多。收集效率会导致极高的计数率。因此，所有四个探测器芯片都配备了单独的信号处理通道。这允许输入计数率(ICR)高达400万cps和联合输出计数率(OCR)高达160万cps。的XFlash^®在Mn Kα和100,000 cps输入计数率下，FlatQUAD提供了卓越的能量分辨率为126 eV (C K为51 eV, F K为60 eV)，分辨率级别为129 eV和133 eV。