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半导体和纳米技术
随着技术节点的缩小和设备变得更加复杂,帮助创新开发、过程控制和监控
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先进的逻辑
随着逻辑器件变得越来越复杂,如finFET、纳米片和其他结构的创新,计量需求也增加了。我们的解决方案使这些设备的开发和生产逐步增加,包括复合三维epi的HRXRD和XRR测量和纳米片形状的AFM测量。
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先进电源(GaN & SiC)
bob电竞安全吗Bruker HRXRD / XRR系统是表征先进动力系统(如GaN on Si和SiC)的首选系统。它们被用于世界各地的生产线,用于测量薄膜厚度,成分和质量,以确保布鲁克客户的高产率。bob电竞安全吗
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先进的内存
不同种类的内存存在于所有设备中,从手机到笔记本电脑和高端服务器。这些技术包括DRAM、3D-NAND和更晚的相变存储器(如XPoint)和MRAM。bob电竞安全吗布鲁克使用一系列x射线系统和技术来表征薄膜的关键参数:从厚度、组成到形状轮廓。
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缺陷和污染
bob电竞安全吗Bruker(以及之前的Bede和Jordan Valley)是x射线衍射成像(XRDI)的先驱,可以识别导致晶圆断裂的缺陷。这已经扩展到其他基材中的缺陷,从而影响成品率。bob电竞安全吗Bruker还提供TXRF系统,用于识别Si和SiC衬底上的金属污染,这对生产线的产量至关重要。
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显示器和触摸面板
bob电竞安全吗Bruker为触摸屏和显示器制造提供卓越的生产计量
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电子元器件(RoHS)
控制集成电路和电子元件的组成和厚度是提高其可靠性和功率效率的关键。bob电竞安全吗布鲁克提供了快速和非破坏性的分析解决方案,以确定设备及其层组成和厚度,也需要在筛选有害材料。
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光电子的领导
bob电竞安全吗Bruker的元素分析仪、光学和AFM以及x射线测量解决方案可对epi层、图案蓝宝石衬底和光电器件进行精确和可重复的测量。配备了先进的自动化能力,我们的设备提供了最佳生产监控和新设备开发所需的关键答案。
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射频设备
射频设备是最新的5G通信设备的核心。bob电竞安全吗Bruker通过x射线衍射(XRD)对epi薄膜进行了x射线计量,并对BAW / SAW过滤器所需的压电材料中的材料相和成分进行了表征。
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半导体研发
bob电竞安全吗布鲁克的FT-IR仪器在世界范围内被用于表征和研究新的半导体材料。例如声子光谱、红外光致发光、异质结构和带隙的研究。
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太阳能
bob电竞安全吗布鲁克的精密计量技术为太阳能研究和过程控制提供了动力
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晶圆级封装
bob电竞安全吗Bruker拥有一系列用于晶圆级封装的系统。利用微x射线荧光技术可以实现对单个凸起的成分测量和凸起下金属的厚度测量。
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