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응용분야
반도체및나노기술
반도체의이미세해지고장치가복잡에따라적인개발개발,공정,공정관리,모니터링관리관리관리공정공정공정공정공정공정공정공정공정공정모니터링모니터링모니터링모니터링모니터링모니터링모니터링모니터링。
중점분야
高级逻辑
随着逻辑设备变得越来越复杂,随着FinFET,纳米片和其他结构等创新,计量需求就增加了。我们的解决方案可以使这些设备的开发和生产坡道,包括用于复杂的3D EPI和AFM测量纳米片形状的HRXRD和XRR测量值。
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高级电力(Gan&SIC)
bob电竞安全吗Bruker HRXRD / XRR系统是表征高级功率系统(例如Si和SiC)的选择系统。它们在世界各地的生产线中用于测量膜厚度,成分和质量,以确保Bruker客户的高收益。bob电竞安全吗
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高级内存
从手机到笔记本电脑和高端服务器都可以找到不同品种的记忆。这些范围从DRAM,3D-NAND以及后来的相位更改记忆(例如XPoint)和MRAM。bob电竞安全吗Bruker使用一系列X射线系统和技术来表征膜的关键参数:从厚度,组成到形状轮廓。
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缺陷和污染
bob电竞安全吗布鲁克(以及以前的贝德(Bede)和乔丹谷(Jordan Valley))是开创性的X射线衍射成像(XRDI),以识别导致晶圆损伤的缺陷。这已经扩展到可能影响产量的其他底物的缺陷。bob电竞安全吗Bruker还提供TXRF系统,用于鉴定SI和SIC底物上的金属污染,这对于生产线产量至关重要。
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显示和触摸面板
bob电竞安全吗Bruker提供了出色的触摸面板和显示制造商的生产计量
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电子组件(ROHS)
控制集成电路和电子组件的组成和厚度是提高其可靠性和功率效率的关键。bob电竞安全吗布鲁克(Bruker)提供快速和非破坏性的分析解决方案,以确定设备及其层组成和厚度,在筛选危险材料时也需要。
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Opto LED
bob电竞安全吗Bruker的元素分析仪,光学和AFM以及X射线计量解决方案可提供EPI层,图案化蓝宝石底物和光电设备的准确且可重复的测量。配备了高级自动化功能,我们的设备提供了最佳生产监控和新设备开发所需的关键答案。
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RF设备
RF设备是最新5G通信设备的核心。bob电竞安全吗Bruker通过XRD提供X射线计量学,以表征EPI膜,以及BAW / SAW滤波器中所需的压电材料中使用的材料相和组成。
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半导体研发
bob电竞安全吗Bruker的FT-IR仪器在全球范围内用于表征和调查新的半导体材料。例子是有关声子光谱,IR光致发光,杂项结构和带隙的研究。
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太阳的
bob电竞安全吗布鲁克的精确计量学燃料太阳能研究和过程控制
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晶圆级包装
bob电竞安全吗布鲁克(Bruker)有一系列用于晶圆级包装的系统。可以使用Micro-XRF实现对单个颠簸和厚度厚度厚度的组成测量。
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