Contourgt-X 3D光学剖面仪为实验室研究和生产过程控制提供了最高的性能非接触表面测量。该计量系统结合了十代白光干涉法(WLI)创新和设计,在该行业最大的视野中提供了最高的垂直分辨率。关键功能包括完整的自动化和生产界面,大型电动XYZ阶段,头部倾斜/倾斜以及整体空气隔离台。Contourgt-X从头开始设计,最苛刻的研发,质量保证以及过程质量控制需求,提供了具有GAGE能力的3D光学精度和鲁棒性的终极。
Contourgt-X结合了Bruker的专利尖端bob电竞安全吗/倾斜头,获得专利的自校准激光参考,集成模式识别以及许多其他专有的干涉率创新,以提供具有高通量的极其准确的表面计量学。The system’s automation-ready configuration enables rapid optimization in almost any production environment with features ranging from an air table stabilizer kit for enhanced X, Y, Z wafer placement accuracy and PDU, EMO, and vacuum systems for integration to modified vacuum chucks for autoloader end-effector compatibility.
Contourgt-X电动XY阶段在X和Y方向上提供了12英寸编码的运动。该阶段支持自动例程,例如多点数据收集,以及用于大区域分析的缝合能力。0.5微米编码器提供可靠的,可重复的自动化和样品定位。通过直观的操纵杆和软件接口控件使操作员易于使用样品定位。
bob电竞安全吗Bruker的Vision64®操作和分析软件提供了行业功能最强和简化的图形用户界面,将智能体系结构与直观的视觉工作流以及广泛的用户定义的自动化功能相结合,以快速,全面的数据收集和分析。先进的生产接口允许将Contourgt-X适应几乎任何生产环境和自动化过程。该界面提供了自定义过程工作流程,自动映射和加载测量配方的工具。