3d광학프로실로미터

컨碰头어gt-x

R&d및생산을위한자동화된게이지지원계측

하이라이트

컨碰头어gt-x

ContourGT-X 3 d광학프로파일러는실험실연구및생산공정제어를위한가장성능이높은비접촉표면측정을제공합니다。10세대의백색광간섭법(WLI)혁신과설계를통합한이계측시스템은업계최대규모의시야에서가장높은수직해상도를제공합니다。주요특징은완전한자동화및생산인터페이스,대형전동XYZ단계,헤드의팁/틸트,일체형공기격리테이블등이있습니다。가장까다로운研发、품질보증및공정품질관리요구사항을위해처음부터설계된ContourGT-X는게이지지원3 d광학정확도및견고성에서궁극의효율성을제공합니다。

부르다
자동화
가장빠르고가장쉬운나노미터스케일측정을제공합니다。
맞춤형
프로덕션,터페이스
간소화된프로세스제공워크플로우,자동화된매핑및부하측정조리법。
자체 보정
레이저레퍼런스
최고의생산계측,반복성및견고성을보장합니다。

특징

기능

생산준비설계및신뢰성

ContourGT-X는브루커의특허받은팁/틸트헤드,특허받은자체보정레이저레퍼런스,통합패턴인식및기타독점적인간섭측정혁신의호스트를통합하여매우정확한표면계측을높은처리량으로제공합니다。이시스템의자동화지원구성은에어테이블안정기키트에서부터향상된X, Y, Z웨이퍼배치정확도및PDU, EMO및진공시스템을통해오토로더엔드이펙터호환성을위한수정된진공척에통합할수있는다양한기능을통해거의모든프로덕션환경에서신속한최적화를가능하게합니다。

최고해상도이미징을위한고정밀스테이지

컨투어GT-X전동XY스테이지는X및Y방향으로인12치인코딩된움직임을제공합니다。이단계는다중점데이터수집과같은자동화된루틴뿐만아니라광역분석을위한스티치기능을지원합니다。0.5마이크론인코더는신뢰할수있고반복가능한자동화및시료포지셔닝을제공합니다。직관적인조이스틱및소프트웨어인터페이스컨트롤을통해작업자가샘플포지셔닝을쉽게할수있습니다。

직관적면측정및분석소프트웨어

bob电竞安全吗力量의Vision64®운영및분석소프트웨어는지능형아키텍처와직관적인시각적워크플로우,빠르고포괄적인데이터수집및분석을위한광범위한사용자정의자동화기능을결합하여업계에서가장기능적이고간소화된그래픽사용자인터페이스를제공합니다。고급프로덕션인터페이스를통해거의모든프로덕션환경과자동화된프로세스에ContourGT-X를조정할수있습니다。인터페이스는공정워크플로우를사용자지정하고매핑을자동화하며측정레시피를로드하는도구를제공합니다。

부속품

웨비나

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