SIRIUS-RF
第四代系统提供行业标准的可靠性
半标准遵从性
母亲是żniejsze informacje
Sirius-RF
Sirius-RF是一个成熟平台上的第四代系统，提供行业标准的可靠性、易用性、fab自动化和符合SEMI标准。
会聚束
XRR
提供快速，第一性原则的厚度和密度测量抄写线
双重来源
µ光谱仪的配置
为每个设备的各种层提供灵活性和最佳性能
堆栈
测量能力
在计量垫上或直接在设备上以非破坏性的方式测量成分和厚度
Cechy charakterystyczne
Sirius-RF特性
- 聚敛光束XRR用于快速、第一性原理的抄写线厚度和密度测量
- 双源XRF配置的灵活性和最佳性能为每个设备的各种层
- 用于高级存储器(DRAM, PCRAM, 3D-NAND, MRAM)，逻辑，电源设备和包装
- 成分及厚度测量
- 在计量板上或直接在设备上(非破坏性方式)
- 堆栈测量能力
Aplikacje
应用实例:极化
- 记忆元件(GeSbTe - GST)和Ovonic阈值开关(OTS, GeAsSe)的组成和厚度是关键参数
- Sirius-RFµXRF允许在计量垫或设备区域进行在线成分监测
- 快速收敛束XRR允许厚度测量在1-2秒每点。
Wsparcie
支持
我们如何提供帮助?
bob电竞安全吗Bruker与客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，并帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务持续下去，直到工具被出售。
我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级，以及应用支持和培训，使您的生产力最大化。