用于硅半导体的X射线计量学

Sirius-RF

提供行业标准可靠性的第四代系统

半标准合规性

LoMásDestacado

Sirius-RF

Sirius-RF是一个成熟平台中的第四代系统,可提供行业标准的可靠性,易用性,FAB自动化和半标准合规性。

收敛光束
xrr
在抄写线上提供快速的,第一原则的厚度和密度测量
双源
µXRF配置
为每个设备提供灵活性和最佳性能
多堆
测量能力
以非毁灭性方式直接对计量垫或直接在设备上的组成和厚度测量

características

特征

Sirius-RF功能

  • 收敛束XRR,用于快速的,第一原质厚度和抄写线上的密度测量
  • 双源µXRF配置灵活性和最佳性能,适用于各种设备的各种层
  • 用于高级内存(DRAM,PCRAM,3D-NAND,MRAM),逻辑,电源设备和包装
  • 组成和厚度测量
  • 关于计量垫或直接的设备(非毁灭性方式)
  • 多堆栈测量能力

Aplicaciones

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应用示例:PCRAM

  • 内存元件(GESBTE -GST)和卵子阈值开关(OTS,GEASSE)的组成和厚度是关键参数
  • Sirius-RF µXRF允许对计量垫或设备区域的在线组成监视
  • 快速收敛束XRR允许以每点1-2秒为单位的厚度测量。

索波特

支持

我们能帮你什么吗?

bob电竞安全吗Bruker与我们的客户合作解决了现实世界中的应用程序问题。我们开发下一代技术,并帮助客户选择正确的系统和配件。在工具出售工具很久之后,这种合作伙伴关系继续通过培训和扩展服务。

我们训练有素的支持工程师,应用程序科学家和主题专家团队全力致力于通过系统服务和升级以及应用程序支持和培训来最大化您的生产率。

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