扫描电容显微镜（SCM）
高分辨率，二维掺杂剂分析
映射跨掺杂半导体样品的载体浓度通常依赖于诸如次级离子质谱法（SIMS），扩散抗性分析（SRP）和一维电容量（C-V）等工具。这些仪器在一个维度上生成数据，需要推断进行定量的二维信息。
扫描电容显微镜（SCM）提供了一种直接测量激活的载体浓度，其纳米尺度精度在二维中。SCM是从联系模式并使用极其敏感的高频谐振电路来衡量尖端和样品表面之间电容的变化。
除SCM外，Bruker还为广泛的电气应bob电竞安全吗用提供了几种纳米电特性模式。bob平台靠谱吗
半导体表面的SCM图像，显示了AS+离子大量掺杂的区域。70μm扫描尺寸。
