扫描电容显微镜(SCM)
高分辨率，二维掺杂分析
在非均匀掺杂的半导体样品上绘制载流子浓度通常依赖于二次离子质谱(SIMS)、扩散电阻谱(SRP)和一维电容-电压(C-V)等工具。这些仪器产生一维数据，需要定量的二维信息来推断。
扫描电容显微镜(SCM)提供了一种直接测量二维纳米级精度的活性载流子浓度的方法。供应链管理源自联系方式并使用极其灵敏的高频谐振电路测量尖端和样品表面之间的电容变化。
除了单片机，Bruker还为广泛的电气应bob电竞安全吗用提供了几种纳米电表征模式。bob平台靠谱吗
半导体表面的单片机图像，显示重度掺杂As+离子的区域。70μm扫描大小。
