光谱椭圆光度法

光谱椭偏法是一种强大的技术，用于测量具有单个或少量离散层的薄膜和超薄膜(低至<1 Å)。这种技术对薄膜厚度和均匀性非常敏感，可以用来研究几乎任何透明薄膜。它对于超薄膜应用(<100 nm)特别有用，并且可以测量比探测光本身的波长还薄的层，小到小于bob平台靠谱吗单个原子层，超过了基于椭圆偏振和反射测量的类似技术的厚度限制。除了薄膜厚度外，光谱椭偏仪还提供了高度精确，可重复的介电特性(复折射率和介电函数张量)和样品光学常数的测量，可实现折射率分辨率为2 x 10³在一些样品上。

FilmTek光谱椭偏仪采用先进的旋转补偿器设计，提供同类最佳的重复性和相对更好的椭偏性能，而不是其他设计-即旋转偏振器和分析椭偏仪。此外，FilmTek光谱椭偏仪(“SE”)产品线从单技术，预算友好型到先进的多模态系统。多模态工具将光谱椭偏仪与其他薄膜计量方法和专有的FilmTek技术相结合，以满足用户在使用具有挑战性的材料和测量要求时的需求，这些要求超出了其他光谱椭偏仪的折射率分辨率、层结构和材料/衬底限制。

使用FilmTek se型仪器收集椭偏数据简单、高效、直观。这些系统配备了我们专有的FilmTek软件和优化算法，能够完全自动化，最大限度地减少了操作停机时间和人工测量校准，数据采集和数据分析过程中固有的人为错误的高潜力，并且与同类椭偏仪不同，不需要手动校准样品。