FilmTek 3000
用于透明衬底上有图案的、不均匀的和厚薄膜的微光斑反射-透射计量
하이라이트
FilmTek 3000
FilmTek™3000M微光斑反射-透射测量系统能够高效、准确地测量沉积在透明衬底(包括晶圆)上的图案薄膜。此外，它优于传统系统的微光斑测量能力，即使是在非均匀样品上，也能表征比竞争仪器能容纳的厚得多的薄膜。
传统的微光斑膜测量系统使用高功率物镜，使得它们容易产生明显的信号退化和光学伪影。相反，FilmTek 3000使用了我们的专利显微镜光学设计-我们所有“M”系列仪器的特点-具有低功率物镜和几乎准直的光束。因此，它能够实现测量光斑尺寸小至2 μ m，在小和微光斑测量过程中保持高信号保真度。因此，FilmTek 3000M提供了光谱反射和传输测量，具有最大的信号相干性，提供了一流的准确性和可靠性的样品不容易或可行的传统仪器测量。
选项是可用的优化FilmTek 3000M的设计，以实现更专业的测量，包括用于平板显示应用的大型定制样本级。bob平台靠谱吗该系统还可以配置为提供全自动的基于成像的图案样品临界尺寸(CD)测量，允许同时进行CD和薄膜厚度测量。
吸收
样本的兼容性
能够对竞争系统无法测量的样品进行精确的表征。
可定制的
专业配置
扩展平板显示和晶圆/CD测量应用的测量能力和样品兼容性。bob平台靠谱吗
2 um点
用近乎准直的光束
使反射和传输测量的信号相干性和可靠性最大化。
了解更多关于这种乐器的知识。
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특징
测量功能
允许同时确定:
- 多层厚度
- 折射率[n(λ)]
- 消光吸收系数[k(λ)]
- 能带隙
- 临界尺寸测量
系统组件
标准:
- 光谱反射测量
- 光谱透射测量
- 专利显微镜光学设计允许亚10 μ m点与低功率物镜
- 5纳米- 50微米厚度范围
- 2 um光斑尺寸(5x10 um标准)
- 自动对焦的自动舞台
- 用于成像测量定位的摄像机
- 模式识别
- 用于平板显示应用的大型定制舞台bob平台靠谱吗
- 先进的材料建模软件
- bob电竞安全吗布鲁克广义材料模型与先进的全局优化算法
可选:
- 自动化平板/晶圆处理
- 平板总厚度变化(TTV)测量
- 秒/宝石
응용
典型应用范围
典型的应用领域包括:
- 晶片/ CD计量
- 平板显示器
灵活的软件可以很容易地修改，以满足研发和生产环境中独特的客户需求。
사양
技术规格
| 薄膜厚度范围 | 5 nm ~ 350 μ m (5 nm ~ 150 μ m为标准) |
|---|---|
| 薄膜厚度精度 | ±1.5 Å NIST可追溯标准氧化物1000 Å到1µm |
| 光谱范围 | 380 nm - 1700 nm(标准为380 nm - 1000 nm) |
| 测量光斑尺寸 | 2 μ m (5x10 μ m标准液，10x物镜) |
| 样本大小 | 2毫米- 600毫米(标准为150毫米) |
| 光谱分辨率 | 0.3 - 2nm |
| 光源 | 调节卤素灯(使用寿命2000小时) |
| 探测器类型 | 2048像素Sony线阵CCD / 512像素冷却滨松InGaAs CCD阵(近红外) |
| 电脑 | Windows™10操作系统的多核处理器 |
| 测量时间 | 每个部位(如氧化膜)小于1秒 |
性能规格
| 电影(年代) | 厚度 | 测量参数 | 精度(1σ） |
|---|---|---|---|
| 氧化物/硅 | 500 - 1000nm | t | 0.025纳米 |
| 1 - 150 μ m | t | 0.005% |