层厚变化的映射
样品是玻璃衬底上的两个电极，是光致电解的测试装置。它由沿表面浓度梯度的双金属单层组成。采用磁控溅射双cu - al靶在玻璃衬底上进行镀膜。
由于x射线可以穿过物质，一般来说，x射线荧光可以测定层的厚度。使用micro-XRF在微米尺度的空间分辨率下，层分析(厚度和成分)是可行的。分层分析是基于原子基本参数的定量分析，可以通过使用标准样品来改进。因此，“常见的”层系统，如ENEPIG涂层，ZnNi涂层，或焊接层，在标准容易获得的地方可以高精度地测量，但也可以在研发环境中测试新层系统。
整个样本面积为5 x 5 cm²，空间分辨率为50 μ m，每个像素测量时间为50 ms。层状元素Al和Cu的元素分布具有明显的浓度梯度。
用5x5像素分块对Cu:Al在Si上的厚度进行了地图数据量化(产生了250 μ m的层厚分析分辨率)。对于这样新颖的样本系统，没有参考样本。采用基本参数进行定量，结果与生产厂家的预期吻合较好。