SIRIUS-FW
用于先进晶圆级封装的全自动微晶XRF计量平台
关键的计量
对高收益
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Sirius-FW
Sirius-FW是第四代全自动x射线荧光光谱(XRF)测量平台，提供专门的单凸点测量，以监测锡块焊料凸点和凸点金属化下的%Ag。其成熟的技术使油田的正常运行时间超过95%。Sirius-FW系统能够测量直径小至10 μ m的单个焊点，具有亚微米的定位精度。其自动强度校正(AIC)确保长期稳定性和漂移消除。与生产工具一样，Sirius-FW是配方驱动的，支持全fab自动化。
优化
垂直激励µ光谱仪
设计配置的理想内联HVM计量
< 15µm
AgKα上的小斑点
结果对z误差敏感度低
> 95%
正常运行时间
第四代平台具有现场验证的性能。
特長
关键特性
- μ XRF与垂直激发-优化配置内联，HVM计量
- 小斑点(AgKα <15µm)
- 对z误差敏感度低
- 边缘排除<0.5 mm
- 无损低功率密封x射线W管
- 多毛细调节光学，多色激发
- 用于高效光子收集的SDD探测器阵列
- 象限采集减少了对横向误差的依赖，这在测量圆顶型焊点时尤为重要
- 支持高度弯曲的基材(弯曲可达2mm)，玻璃基材
高产仪器
Sirius-FW应bob平台靠谱吗用程序可实现高产率:
- 锡块中的%Ag -控制凸点回流温度的关键，需要凸点的形状和焊接规律
- 焊锡凸点高度，UBM的金属厚度(凸点金属化)，背凸点，RDL(再分配层)和支柱高度:Cu, Ni, Au, Pd Ti -关键是良好结合所需的跨晶圆平面度
利点
好处
- 用于过程足迹确定的单凸点计量
- 关键应用的GR&R计量能力bob平台靠谱吗
- 生产价值的生产力和MAM(移动-获取-测量)时间:秒的金属厚度，30-60秒的%Ag和凹凸高度
- 主要包装工厂的TOR，经过验证的稳定性和船队匹配
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支持
我们如何提供帮助?
bob电竞安全吗Bruker与客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，并帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务持续下去，直到工具被出售。
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