SiBrickScan

获取有价值的信息以检查和优化产品质量

了解硅锭的氧梯度可以得出重要的结论，例如帮助控制和优化硅结晶过程或识别批次的不良原料。因此，SBS将有助于通过优化产品质量和减少缺陷晶圆的数量来节省成本。单个钢锭的随机抽样确实大大减少了样品准备工作，并更早地提供了相关信息。

最先进的FTIR光谱的最高灵敏度

FT-IR光谱(ASTM/SEMI 1188)是一种众所周知的重要分析方法，但仅限于低毫米范围内的薄硅样品。SiBrickScan (SBS)克服了这一限制，是第一个商用的完全专用系统，可以在不需要耗时和破坏性的薄样品制备的情况下，沿其主轴确定完整钢锭中的氧梯度。SBS巧妙地利用了相关的红外泛音吸收带，并结合了可靠和最先进的布鲁克FT-IR技术。bob电竞安全吗

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不制备薄样品的间质氧定量

SiBrickScan允许分析长达500毫米长度的硅锭中的间隙氧。这些有价值的信息可以优化结晶过程，并在锯切前对单个钢锭进行鉴定。

与ASTM/SEMI 1188直接相关的高质量校准

SBS氧评估使用的校准直接与ASTM/SEMI 1188相关。由于两种方法的相关性几乎是完美的，因此间质氧浓度的评估具有最高的准确性。

SBS的检测灵敏度最高

根据样品的形状和性质(如电阻)，SBS可以实现间隙氧检测限< 2 ppma (< 10 ppma)¹⁷/厘米^3.)。如果您对可行性测试测量感兴趣，请联系您当地的布鲁克代表。bob电竞安全吗

针对不同铸锭类型的专用SBS版本

SBS适用于多晶或单晶标准方形PV锭(横截面~156 x 156 mm)²)以及直径约150毫米(6")或约200毫米(8")的圆柱形硅锭。其他直径和形状的系统可根据要求提供。

行业兼容和稳健设计

一个强大而精确的线性驱动器自动控制钢锭测量位置:根据配置和钢锭类型，沿着钢锭轴可以实现~12毫米的空间氧分辨率。可靠和安全的联锁机构排除了操作人员接触运动部件的风险。

直观和易于使用的软件界面

SiBrickScan (SBS)包括针对工业环境优化的专用直观图形用户界面。正常的生产工人也可以在几分钟内学会标准操作程序:只需加载锭，选择所需的分析配方并开始测量。测量本身将自动进行，包括数据评估。

创新的高灵敏度光束路径，包括参考样品

独特和创新的红外光束路径确保最高的测量灵敏度。高质量的参考样品已经包含在仪器中，参考测量是自动完成的。

探测器可根据客户要求选择

SBS可以与斯特林冷却探测器一起使用，独立于液氮运行。可选的SiBrickScan也可以订购液氮冷却检测器，包括自动重新填充装置。