SiBrickScan

获取有价值的信息以检查和优化产品质量

了解硅锭的氧梯度可以得出重要的结论，如控制和优化硅结晶过程或识别批次的不良原料。因此SBS将有助于通过优化产品质量和减少缺陷晶圆的数量来节省成本。单个锭的随机抽样确实大大减少了样品制备的工作量，并能更早地提供相关信息。

最先进的FTIR光谱的最高灵敏度

利用FT-IR光谱(ASTM/SEMI 1188)进行间质氧定量是一种众所周知的重要分析方法，但仅限于低毫米范围内的薄Si样品。SiBrickScan (SBS)克服了这一限制，是第一个商业化的完全专用系统，可以沿其主轴测定完整铸锭中的氧梯度，而不需要耗时和破坏性的薄样品制备。SBS巧妙地使用了相关的红外泛音吸收波段，并结合了可靠和最先进的布鲁克FT-IR技术。bob电竞安全吗

要发送SBS在线查询，请单击这里。

不制备薄样品的间质氧定量

SiBrickScan可以分析长度达500毫米的硅锭中的间隙氧。这些有价值的信息使结晶过程的优化以及锯切前对单个锭的鉴定成为可能。

直接与ASTM/SEMI 1188挂钩的高质量校准

SBS氧评估使用的校准直接与ASTM/SEMI 1188相关。由于这两种方法的相关性几乎完美，间隙氧浓度的评估具有最高的准确性。

SBS的最高检测灵敏度

根据样品的形状和性质(如电阻)，SBS可以达到间质氧检测极限< 2 ppma (< 10 ppma)¹⁷/厘米^3.)．如果您对可行性测试测量感兴趣，请联系您当地的布鲁克代表。bob电竞安全吗

不同钢锭类型的专用SBS版本

SBS可用于多晶或单晶标准方形PV锭(截面约156 × 156毫米)²)和圆柱形硅锭，例如直径约150毫米(6”)或200毫米(8”)。其他直径和形状的系统可根据要求提供。

行业兼容和健壮的设计

一个鲁棒和精确的线性驱动器自动控制钢锭测量位置:根据配置和钢锭类型，沿钢锭轴可实现~12毫米的空间氧分辨率。可靠和安全的联锁机制排除了操作人员接触运动部件的风险。

直观和易于使用的软件界面

SiBrickScan (SBS)包括针对工业环境优化的专用和直观的图形用户界面。正常的生产工人也可以在几分钟内学会标准操作程序:简单地加载钢锭，选择所需的分析配方并开始测量。测量本身将自动进行，包括数据评估。

创新的高灵敏度光束路径包括参考样本

独特和创新的红外光束路径确保最高的测量灵敏度。仪器已包含一个高质量的参考样品，并自动完成参考测量。

可根据客户要求选择检测器

SBS可以使用斯特林冷却探测器，独立于液氮工作。SiBrickScan还可以订购液氮冷却检测器，包括一个自动补充装置。