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CryoSAS(低温硅分析系统,低温シリコン分析システム)は,シリコン中の不純物を15 k以下の低温環境下で分析するために開発された装置です。また,装置は太陽電池および半導体分野における品質管理を考慮して設計された,オールインワン専用システムです。
シリコン中の格子間酸素濃度分析に最適化されたアトランft-irシステムです。インゴットをそのまま分析するため,ウェーハ製造工程の初期段階で効率的な品質管理が可能となり,コスト削減を実現します。
