多角度反射计

我们的多角度反射技术对薄膜折射率的灵敏度远高于标准的光谱椭偏法或反射法。多角度反射仪与光谱椭圆偏振仪相结合，能够快速、同步、自动测量薄膜厚度和光学常数(特别是折射率)，比单独使用任何一种技术都具有更好的性能和更具有挑战性的样品。这对于测量超薄膜、多层膜堆和具有非常高折射率分辨率要求的材料非常有用，包括用于形成复杂器件结构和集成电路制造的材料。

多角度反射测量顾名思义，可以从多个角度同时收集反射数据，以克服单角度反射测量的限制(如噪声、不相干等)。通过这样做，FilmTek多角度反射系统提供了一流的折射率分辨率，实现了100倍的折射率分辨率的可比非接触方法和10倍的最佳棱镜耦合器接触系统。

FilmTek独特和专有的多角度反射/椭圆偏振系统提供了最好的薄膜厚度和指数的准确性和重复性，使用户能够推动这两种技术的极限来解决超薄到厚的薄膜的指数和厚度，并明确地表征整个多层堆栈。FilmTek系统是许多前沿应用的首选解决方案，包括光电子、相敏器件和相变材料、特种器件和硅光子学的开发和生产，以及前端硅和服bob平台靠谱吗务器制造。