椭圆光度法和反射计

FilmTek 3000

透明衬底上无图案吸收膜的反射-透射分光光度法

做marquants

FilmTek 3000

FilmTek™3000反射-透射分光光度计为用户提供了一种可靠、高效的单仪器解决方案,用于表征沉积在透明基材上的无图案薄膜,特别是用于LED/OLED、太阳能光伏和平板显示应用的极薄吸收薄膜。bob平台靠谱吗

该系统将DUV-NIR光纤分光光度计与专有色散和材料建模能力结合在一个单一的全自动、高效率的仪器中。这种设计可以同时收集研究无图案吸收薄膜的特性和均匀性所需的反射和传输数据。FilmTek 3000因此能够克服与这些薄膜相关的多个研发和制造挑战。

可选功能和硬件可以添加到该系统,以支持更专业的测量需求,包括偏振测量和大规模自动化采样阶段,以支持平板显示应用。bob平台靠谱吗

流线型的
结合reflection-transmission系统
为研究透明基材上的极薄吸收膜提供了可靠、准确的选择。
设备
反射和透射测量
使无图案的薄膜,即使是那些强吸收的,高效率的表征。
易于使用的
集成硬件和软件
提供无缝自动化和易于定制,以支持甚至高级的测量需求。
了解更多关于这种乐器的知识。
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的特性

特性

测量功能

允许同时确定:

  • 多个层厚度
  • 折射率[n(λ)]
  • 消光吸收系数[k(λ)]

  • 能带隙
  • 组成部分,空隙率
  • 表面粗糙度

系统组件

标准:

  • DUV-NIR光纤分光光度计
  • 反射光谱测量
  • 光谱传输测量
  • 自动化阶段
  • 先进的材料建模软件
  • bob电竞安全吗布鲁克广义材料模型与先进的全局优化算法

可选:

  • 用于平板显示应用的大型定制舞台bob平台靠谱吗
  • 自动化的样品处理
  • 秒/宝石兼容性
  • Polarimitery测量能力

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典型应用领域

几乎所有的半透明薄膜的厚度从小于100 Å到大约150 μ m都可以高精度地测量。典型的应用领域包括:

  • 领导/ OLED
  • 平板显示器
  • 太阳能光伏

具有灵活的硬件和软件,可以轻松修改,以满足学术、研发和生产环境中的独特客户需求。

规范

技术规格

膜厚度范围 3 nm至150 μ m
膜厚度精度 ±1.5 Å NIST可追溯标准氧化物1000 Å到1µm
光谱范围 220 nm - 1700 nm(标准为240 nm - 1000 nm)
测量光斑大小 3毫米
样本大小 2毫米- 500毫米(标准为150毫米;可按要求提供更大的舞台)
光谱分辨率 0.3 - 2nm
光源 稳压氘卤素灯(使用寿命2000小时)
探测器类型 2048像素Sony线阵CCD / 512像素冷却滨松InGaAs CCD阵(近红外)
电脑 Windows™10操作系统的多核处理器
测量时间 每个部位(如氧化膜)小于1秒

性能规格

电影(年代) 厚度 测量参数 精度(
氧化/ Si 200 - 500 Å t 0.5
500 - 10000 Å t 0.25
1000年,一个 t、n 0.25 Å / 0.001
氮化硅/硅 200 - 10000 Å t 0.5
光刻胶/ Si 200 - 10000 Å t 0.5
a-Si /氧化物/ Si 200 - 10000 Å t 0.5

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