FilmTek™3000反射-透射分光光度计为用户提供了一种可靠、高效的单仪器解决方案,用于表征沉积在透明基材上的无图案薄膜,特别是用于LED/OLED、太阳能光伏和平板显示应用的极薄吸收薄膜。bob平台靠谱吗
该系统将DUV-NIR光纤分光光度计与专有色散和材料建模能力结合在一个单一的全自动、高效率的仪器中。这种设计可以同时收集研究无图案吸收薄膜的特性和均匀性所需的反射和传输数据。FilmTek 3000因此能够克服与这些薄膜相关的多个研发和制造挑战。
可选功能和硬件可以添加到该系统,以支持更专业的测量需求,包括偏振测量和大规模自动化采样阶段,以支持平板显示应用。bob平台靠谱吗
允许同时确定:
几乎所有的半透明薄膜的厚度从小于100 Å到大约150 μ m都可以高精度地测量。典型的应用领域包括:
具有灵活的硬件和软件,可以轻松修改,以满足学术、研发和生产环境中的独特客户需求。
膜厚度范围 | 3 nm至150 μ m |
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膜厚度精度 | ±1.5 Å NIST可追溯标准氧化物1000 Å到1µm |
光谱范围 | 220 nm - 1700 nm(标准为240 nm - 1000 nm) |
测量光斑大小 | 3毫米 |
样本大小 | 2毫米- 500毫米(标准为150毫米;可按要求提供更大的舞台) |
光谱分辨率 | 0.3 - 2nm |
光源 | 稳压氘卤素灯(使用寿命2000小时) |
探测器类型 | 2048像素Sony线阵CCD / 512像素冷却滨松InGaAs CCD阵(近红外) |
电脑 | Windows™10操作系统的多核处理器 |
测量时间 | 每个部位(如氧化膜)小于1秒 |
电影(年代) | 厚度 | 测量参数 | 精度(1σ) |
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氧化/ Si | 200 - 500 Å | t | 0.5 |
500 - 10000 Å | t | 0.25 | |
1000年,一个 | t、n | 0.25 Å / 0.001 | |
氮化硅/硅 | 200 - 10000 Å | t | 0.5 |
光刻胶/ Si | 200 - 10000 Å | t | 0.5 |
a-Si /氧化物/ Si | 200 - 10000 Å | t | 0.5 |