冷冻剂

冷冻剂将Bruker的高性能FT-bob电竞安全吗IR光谱仪与内置的闭合循环冷冻冷却技术相结合，不需要任何液体氦气。所有冷冻剂组件都是最先进的，但利用了经过验证的技术来完成苛刻的硅生产环境中的艰难分析。冷冻素可以以高水平的自动化运行，包括准确报告分析结果。

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功能包括：

高灵敏度：

根据ASTM/SEMI MF1630标准，冷冻剂分析将浅杂质（例如硼，磷等）降至低PPTA水平。此外，根据ASTM/SEMI MF1391标准，它同时将碳和氧气向下分析至PPBA水平较低。

闭合循环低温制冷系统：无需昂贵的液体冷冻剂

用于检测器和样品室冷却的高度可靠的闭合循环冷却系统。与液体氦冷却制冷系统相比，封闭的周期系统每年可以节省50,000欧元的运营成本，甚至更多。

不锈钢样品室设计：
简单的样品访问

具有固定光学和自动样品头的经过验证的样品室设计。样品室的较大内径允许轻松访问样品。

干式泵和涡轮泵：
简单干净的真空系统操作

通过涡轮流泵和干式泵快速可靠的撤离。

坚固的，精确的步进电动机阶段，具有九个位置样品持有人：

连接到样品持有人的坚固翻译阶段允许多次样本分析。高扭矩电机和实心翻译机制提供了精确的样品索引和多年可靠功能。样品易于安装和删除，样品持有人几乎毫不费力地安装在样品室中。样品持有人的金涂层铜设计可确保均匀的温度。

使用方便：

冷冻剂针对工业环境中的运营进行了优化。所有真空和制冷设备均由PLC控制。冷却并开始测量是一个简单的按钮操作。用户不必是光谱专家或真空专家。

专用的冷冻体软件旨在满足工业质量控制的需求。它易于使用，可以通过触摸屏操作。用户只需选择所需的分析方法，输入示例信息，然后按开始按钮。然后，冷冻剂将自动冷却样品，启动红外测量，评估结果并创建分析报告。

规格

光谱范围：1500 - 280厘米^-1优化用于检测

• 第三组和V浅杂质根据ASTM/SEMI MF1630，在单晶Si中。对于厚度约为的楔形样品。
  3毫米，可以达到以下检测极限：
  -10个PPTA磷
  -30 PPTA硼
• 替代碳根据ASTM/SEMI
  MF1391。该方法需要具有厚度和表面特性的无碳参考样品，与样品样品相当。对于厚度约为的楔形样品。可以检测到3毫米，碳浓度降至20 ppba。