diffrac.xrr

diffrac.xrr采用两种不同的分析方法，可最适合用户的要求：

• 快速傅立叶变换（FFT）方法，可从X射线反射仪（XRR）曲线进行快速层厚度估计，并使用单个鼠标单击。
• 使用动态散射理论通过基于样品模型的拟合进行详细的XRR分析。

Diffrac.xrr旨在最大化用户在整个分析过程中的效率 - 从创建示例模型到结果的报告：

• 灵活的样品建模，包括基于公式的参数和自由拟合变量。
• 材料和样品的全面且可扩展的数据库。
• 高级自动化和工作流功能，包括宏记录和分步执行。
• 自动分析和一系列反射率测量。
• 评估晶圆映射数据，包括可自定义的轮廓图和统计分析。
  
• 功能强大而广泛的报告生成器具有模板功能。
  

当分析任务包括提取层厚度时，然后fiffrac.xrr设置基准：使用单个鼠标单击，估算工具通过快速的傅立叶变换评估层厚度，并直接在XRR的相应图中显示结果测量。

diffrac.xrr具有一个全面且可扩展的材料数据库。它包括无定形和结晶材料以及到第四纪化合物的混合晶体。该数据库提供了结构因子或HKL模式的计算以及X射线属性，例如吸收，穿透深度，折射率，极化性。为了促进创建新数据库条目，可以直接导入.cif文件和.str文件。

diffrac.xrr具有功能强大的示例数据库。

可以创建，存储复杂的样本结构，然后直接加载到当前分析项目中。这大大提高了日常工作的效率。

与测量软件差异框架共享样本数据库。Suite还允许对实验进行更有效的计划，从而极大地支持计划。MEASER.ANALYALYdiffrac.Suite软件平台的理念。

例行X射线反射率分析从未如此简单：diffrac.xrr可以记录宏并以单个运行或逐步模式执行它们。

工作流设计人员提供了一个直观的接口，用于创建工作流程，以指导用户通过分析或运行完全自动化的界面 - 从导入测量数据到结果报告。

晶圆或区域映射允许确定样品的侧向均匀性。

diffrac.xrr特征完整的晶圆分析：每个精制的样本参数都可以作为轮廓显示，可以显示有关参数的详细统计信息，并且沿表面的部分可以详细介绍本地样本属性。