x射线缺陷检验

QC-TT

最全面的晶体缺陷检测解决方案

x射线衍射成像(XRDI)检测系统

突出了

QC-TT

Brukbob电竞安全吗er QC-TT是一种缺陷计量系统,使用最新的x射线衍射成像(XRDI)技术,提供最全面的晶体缺陷检测解决方案。QC-TT法用于分析硅晶圆和铸锭的质量,以确定晶圆内部是否存在缺陷和裂纹。零边缘排除,即使是斜边缺陷和缺口也能自动识别。由于x射线衍射的性质,不像光学技术,晶圆不需要蚀刻或抛光就能看到缺陷。

零边缘排除
甚至斜边和缺口上的缺陷也可以自动识别

Eigenschaften

特性

早期缺陷检测

该工具主要应用于硅晶圆制造商。在这里,它可以在钢锭片抛光前的工艺早期使用。这样可以更早地检测到钢锭内的滑移和其他有害缺陷,并决定在钢锭的何处开始切片,以获得好的晶圆。

自动缺陷检测

Brukbob电竞安全吗er QC-TT也用于SiC监测。碳化硅制造过程中的一个关键问题是可以生长在铸锭中的不同缺陷。QC-TT可用于检测和分类这些缺陷的关键类型为螺纹边缘(TED),螺纹螺钉(TSD)和基面(BPD)缺陷的制造商要求。这种检测可以作为测量过程的一部分自动完成。

支持

支持

我们如何提供帮助?

bob电竞安全吗Bruker与客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术,并帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务持续下去,直到工具被出售。

我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级,以及应用支持和培训,使您的生产力最大化。

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