JVX7300LSI
多功能x射线衍射仪自动薄膜生产监测
颗研发
亮点
JVX7300LSI
JVX7300LSI自动化衍射仪是为半导体材料的厂内研发和在线生产过程监控而设计的。它可以实现半导体工业中许多先进材料的全自动表征。JVX7300L为标准配置，包括扫描HRXRD、XRR、XRD、GI-XRD和WA-XRD，用于毯状晶圆的应变测量、薄膜和相分析。该系统具有全自动源光学，可以在标准XRD、高分辨率和x射线反射率模式之间切换，无需用户干预，甚至在同一配方批次内。完全自动化的对准，测量，分析和报告的结果，确保生产和快速的薄膜表征。
高动态
范围
0D探测器1D, 2D，作为选项
水平
安装
提供300mm, 200mm和150mm晶圆尺寸的薄膜的快速表征。
完全自动化的
源光学
支持在标准XRD、高分辨率和x射线反射率模式之间无人值守切换。
特点
关键特性
多功能x射线衍射仪自动薄膜生产监测
- XRR:薄膜的厚度、粗糙度、密度和堆叠
- XRD(掠射入射/广角):物相、结晶度、织构、残余应力
- 平面内XRD:超薄膜的相、结晶度
- HRXRD:应变、厚度、外延层组成。
高吞吐量
- 高通量源
- 高动态范围0D检测器，1D, 2D可选。
高分辨率
- 高角度分辨率测角仪
- 光学散度低。
300-200-150mm晶圆片，水平安装
完全自动化
- 2个FOUP加载端口的晶圆处理
- 配方驱动的工具配置变化包括晶体和缝
- 样品分析流程-从比对到报告
- 秒/宝石。
行业领先的控制和分析软件RADS, REFS
半S2 / S8, CE
应用
关键应用bob平台靠谱吗程序
JVX7300LSI在世界范围内广泛应用于先进的节点逻辑和存储晶圆厂。
关键应用bob平台靠谱吗程序:
- 用于DRAM和NAND的高k厚度、密度和结晶度
- III-V在Si上用于未来的节点开发
- 用于功率晶体管的GaN on Si
所有的应bob平台靠谱吗用都是由我们的综合分析软件套件进行分析，模拟和适合:RADS和REFS。
配件
选项和配件
S通道
对于图晶片上测试结构的小光斑测量，可以添加S通道，其在样品处的光斑大小为50 μ m x 50 μ m。该通道既可以配置为高分辨率束，用于外延层上的应变测量，也可以配置为晶膜上的相、结晶度和取向测量的XRD束。
S通道具有全自动模式识别功能。
我的频道
通过可选的I通道进行平面内XRD测量，可以实现对超薄晶体薄膜的相和取向监测。
支持
支持
我们如何提供帮助?
bob电竞安全吗Bruker与客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，并帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务持续下去，直到工具被出售。
我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级，以及应用支持和培训，使您的生产力最大化。