TriboLab CMP
研发规模的工艺和材料表征系统
Основныемоменты
TriboLab CMP
TriboLab CMP利用其前身产品(Bruker CP-4)超过20年的CMP特性专业知识，为业界领先的TriboLab平台带来了一整套功能。bob电竞安全吗由此产生的准确性和测量可重复性使得在整个CMP过程中所需要的高效的确认、检查和持续的功能测试成为可能。TriboLab CMP是市场上唯一的工艺开发工具，可以提供广泛的抛光压力(0.05-50 psi)、速度(1 - 500 rpm)、摩擦、声发射和表面温度测量，以准确和完整地描述CMP工艺和耗材。
无与伦比的
小规模研发系统的ROI
这种台式工具可以在生产设备上不停机的情况下再现全尺寸晶圆抛光工艺条件。
灵活的
参数控制
允许定制测试，以加速材料开发和精细化过程的准确性。
专家
bob平台靠谱吗应用程序和支持
我们多年来与大型安装基地合作，为您的实验室提供专业知识。
Особенности
小型CMP专业研发系统
bob电竞安全吗Bruker的TriboLab CMP工艺和材料表征系统是专门为晶圆抛光工艺的可靠、灵活和具有成本效益的台式表征而设计的。
- 再现全尺寸晶圆抛光工艺条件，生产设备无停机时间
- 提供无与伦比的测量重复性和细节
- 允许在小片上测试，比整片测试节省大量成本
机载诊断，以更好地理解抛光过程
在TriboLab CMP测试仪上测试调节圆盘。试验确定了两组圆盘。摩擦系数测试与衬垫磨损有关。
- 提供比市场上任何其他系统更明显的暂态抛光性能
- 从衬底接触衬垫的瞬间和整个测试过程中收集数据
- 通过更完整、详细的数据实现早期流程开发决策
样品类型、尺寸和安装配置的灵活性
- 抛光任何平面材料，几乎使用任何调理盘，任何浆液，任何垫
- 适应小优惠券通过整个100毫米晶圆轻松
- 接受多个样本安装的灵活性
用于空调衬垫测试的CMP测试仪原理图。