Dektak XTL
可测量的QA/QC剖面仪为最佳的300mm性能
Основныемоменты
Dektak XTL
的Dektak XTL™触针轮廓仪可容纳高达350mm x 350mm的样品，带来传奇的德克塔®可重复性和再现性，用于大尺寸晶圆和面板制造。Dektak XTL的特点是气动隔振和一个全封闭的工作站，易于接近的联锁门，使其成为当今苛刻的生产地板环境的理想选择。它的双摄像头架构增强了空间感知能力，它的高自动化水平使生产吞吐量最大化。
健壮的
自动化设置和操作
规划基准和无限的测量地点，以最大限度地提高吞吐量和最小化误差。
双
相机控制
简化测量设置和快速导航到感兴趣的点。
容易
分析和数据收集
自动化分析程序，并仅报告复杂样本所需的特征。
Особенности
业界最好的自动化和分析软件
增强的软件功能使Dektak XTL成为最强大的，最容易使用的触控笔分析器。该系统利用Vision64软件，可实现无限测量点、3D测绘和高度定制的特征，并具有数百个内置分析工具。Vision Microform软件还可以测量形状，比如曲率半径。模式识别最小化了操作误差，提高了测量定位精度。一体化的软件包结合了数据收集和分析与直观的工作流程。
Vision64生产接口。
无与伦比的笔技术
操作员将300mm晶圆加载到Dektak XTL上。
Dektak XTL建立在超过50年的手写笔专业知识和生产设施的应用定制的基础上，以满足今天和明天严格的行业路线图。300毫米，高精度编码XY分期为制造商提供了一个可靠的工具，以满足严格的仪表R&R要求。Dektak的双摄像头控制与高倍率双视图摄像头提供了增强的空间感知。在实时视频中的指向和点击定位允许操作人员快速地将样品放置在正确的位置，快速和简单的测量设置和自动化编程。该系统的大型连锁门提供了安全、方便的样品加载/卸载。
其他硬件功能包括:
- 单拱结构和集成隔振，具有行业领先的性能
- 容易改变主意的球面手写笔
- 高精度编码的XY台，更快的自动化数据收集
- N-Lite低力软触摸技术和1mm测量范围，可同时用于测量精密和高垂直范围的样品