高空间分辨率EBSD映射使用eFlash XS FE-SEM探测器
EBSD的空间分辨率是受到多种因素的影响如当地平均Z数量,加速电压和探测电子束的大小
EBSD技术的空间分辨率受到多个因素的影响,最重要的是:当地平均Z的样本数量,加速电压和探测电子束的大小。降低最后两个导致显著提升空间分辨率下降也导致一个强大的信号产生影响数据质量和/或收购的速度。为常规W-SEMs代表最大资金效益的解决方案EBSD测量与颗粒直径大于1μm材料。当描述微观结构包含功能小于1μm,特别是那些小于500纳米,FE-SEMs代表最好的/唯一可行的选择由于其交付能力的比率探针电流与探针的大小。
图1模式质量地图(PQM) + 2 m像素EBSD从α-β钛合金样本获得的数据集在步骤75海里使用eFlash XS EBSD探测器安装在TESCAN米拉4。的放大视图PQM高亮区域的地图描绘非常好的特性(右上角)和灰度值分布直方图(右下角)。深灰色像素代表的结晶度降低,如晶界。
图2:相位分布图与绿色和红色Beta-Titanium Alpha-Ti阶段。阶段和非索引点给出分数的传奇。
图3:晶体取向的地图钛合金α和β的示例使用标准的着色方案阶段描述简单的晶体取向方向对样品表面的正常。
图4:晶体定向地图显示测试阶段子集谷物及其方向对样品表面的正常。
图5:重建谷物地图,在随机颜色,α和β钛颗粒检测使用一个5度错位判据和最小10像素大小的标准。
图6:粒度分布直方图的α和β钛阶段。总数量的谷物,面积加权平均当量直径以及中值直径大小。请注意,所有谷物触摸地图的边缘并不包括在统计数据和直方图。
图7:直径大小分布直方图和统计α钛颗粒。
图8:直径大小分布直方图和统计β钛颗粒。
图9:粮食平均错位(GAM)α-β钛合金地图样本对应的传奇。地图显示,某些地区/谷物在样例在变形状态(浅蓝色-绿色-橙色像素),而另一些则完全再结晶(蓝色像素)。
图10:GAM的子集映射整个地图,显示的代表~ 34%谷物/地区变形(可塑性)状态。