砷化镓杂质分析

除了硅，砷化镓是技术上最重要的半导体材料之一，需要各种各样的器件。高纯度或定义明确的杂质浓度(有时甚至是需要的)是至关重要的。红外光谱法是分析这些杂质的重要工具。采用Bruker FT-IR R&D光谱仪分析GaAs杂bob电竞安全吗质:

• 在室温或低温下对砷化镓中的碳进行定量，以提高灵敏度。
• GaAs低温硼分析，对不同硼同位素10B和11B很敏感。