白光干涉法

洞察力" WLI

用于研发和生产的自动化、量具测量

Destaques

InSight WLI带300mm晶圆处理器

全自动InSight WLI系统通过集成晶圆处理器提供无与伦比的光学表面测量能力。为最苛刻的研发、质量保证和过程质量控制需求而设计的InSight WLI集成了布鲁克的专利尖端/倾斜头、专利自校准激光参考、集成模式识别和其他布鲁克独家干涉计量创新。bob电竞安全吗没有其他的计量系统能够为如此广泛的生产计量和成像应用提供非接触的准确性、吞吐量和操作人员的便利。bob平台靠谱吗

Caracteristicas

特性

准确性和鲁棒性的基准

  • 独特的计量传感器设计,专利双led光源
  • 自校准,计量优化激光参考
  • 一体化隔振地板安装柜

测量与分析

最快,最简单的纳米尺度测量

  • 全自动测量功能
  • 纳米尺度特征的行业领先的测量仪

最强大的测量和分析

  • 流线型,可定制的生产界面
  • 灵活配方和自动化测量优化
  • 广泛的过滤器库和可定制的分析选项

高要求的配置

要求高级包装的配置

  • 完整的模具平整度和CMP计量解决方案
  • TSV和互连测量
  • 全划线模的热点与缺陷检测

工厂自动化准备好了

  • 秒/宝石
  • S2 / S8兼容
  • FDC DCOL可用

Apoio

支持

我们如何提供帮助?

bob电竞安全吗Bruker与客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术,并帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务持续下去,直到工具被出售。

我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级,以及应用支持和培训,使您的生产力最大化。

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