金属切削工具使用WC-Co(富钴基体中的碳化钨)等硬质合金与不同的CVD和PVD基涂层,以提高表面硬度、刚性和耐磨性。这些涂层主要是过渡金属氮化物和碳化物,如TiN, TiC, ZrN, VN, TiCN, TiAlN。
本例中TiC/N和Al2O3.用EDS对WC-Co层上的层进行映射。F搞笑。1为刀具边缘聚焦离子束(FIB)横截面。表层是TiN涂层,之后是Al涂层2O3./TiN/TiCN/TiN和WC-Co作为衬底。与EDS,我们可以区分TiN、TiCN和TiN层之间N组成的变化(图2)。思捷环球来自Bruker的分析软件能够自动解卷积强重叠的Tbob电竞安全吗i和N(图4)。