SENSUS-CS
专为SiC生产监控设计的高分辨率XRDI系统
x射线衍射成像(XRDI)检测系统
母亲是żniejsze informacje
Sensus-CS
sense - cs是一款高分辨率XRDI系统，专门设计用于SiC的生产监控。它使用高亮度旋转阳极源和5 μ m分辨率检测器，在不到30分钟内收集全150mm晶圆的高分辨率图像，比以前的系统快10倍以上。该系统可以配备全机器人负载，和一个可选的迷你环境，以充分的生产能力。可以安装SECS-GEM软件以实现从工厂主机的完全自动化。
5µm分辨率
探测器
收集高分辨率图像
< 30分钟
全150mm晶圆
比以前的系统快10倍以上
可配置的
完整的生产
添加机器人加载、迷你环境和SECS-GEM
Cechy charakterystyczne
自动缺陷检测
全自动化操作还提供了从材料研究到全面生产部署的完整解决方案。该系统具有全自动的样品校准、测量和分析功能。通过分析，可以分别确定TED、TSD和BPD密度，并自动识别缺陷和标准KLARF输出。
Wsparcie
支持
我们如何提供帮助?
bob电竞安全吗Bruker与客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，并帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务持续下去，直到工具被出售。
我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级，以及应用支持和培训，使您的生产力最大化。