SEM STEM功能,内置ARGUS成像系统

无所不能的神话巨人阿格斯回来了

和它的前身一样,OPTIMUS 2探测器头已设计内置百眼巨人TM系统提供STEM在SEM成像能力。OPTIMUS 2前端有三个硅二极管,屏幕中央有一个硅二极管,提供:

  • 类似暗场(DF)成像
  • 在TKD映射位置时的亮场(BF)样成像
  • 成像速度高达12.5万像素/秒
  • 全自动信号优化,创建具有无与伦比的质量和细节的图像

这种新的类bf成像能力特别适用于测绘过程中的漂移校正,以及动态实验中样品的近实时可视化,如原位拉伸测试、加热和电子透明样品的电偏置。

2.8万像素的类似df的图像(左)和在无定形Si₃N₄膜上沉积的20 nm金膜的高亮区域的放大视图,显示出亚10 nm的退火孪晶。使用800 pA的探头电流和30 kV的加速电压,在66秒内获得图像。主图和放大视图中的比例尺分别代表400 nm和50 nm。