Xprobe
afmレベル分解能で的ナノインデンテーション试験可能可能
超高解像度ナノインデンテーションを
Xprobeはmemsトランスデューサートランスデューサーをことでオングレベルレベル领域领域力力学学学特性特性ののの评価评価评価できできますます。。ブルカーブルカーブルカーののの持つ持つ静电静电アクチュエーターアクチュエーターアクチュエーターアクチュエーターおよびおよびおよびおよび静电静电静电静电静电静电静电容量容量技术技术とmemssssssssafmレベルレベルレベルのノイズと高をを。。。。。。。。。。のののののののの方向方向の刚性刚性ははは，，高速高速高速フィードフィードバックバック応答応答応答応答，，速度速度速度速度のののののの试験试験での，试験におけるニュースタンダート。。
xプローブ高のナノメテストを。。
定量性ある结果オングストロームレベルで
Xprobeははレバーベース荷重<2nn <2nn <20pm <20pm <20pmの変位の。。。。。。。。。。。。。ではではではではではでは荷重・ ・ ・変位変位のフィード制御制御制御制御制御制御制御制御，オングにおける信頼の高い评価可能ししたた。
