mos2におけるピクの重なりの自動デコンボリュションと定量化

二硫化モリブデン(MoS₂)はモリブデンの一次鉱鉱であるため，工業的に重要な材料です。自動車や機械加工の乾燥潤滑剤,化学業界の触媒,半導体業界の間接バンドギャップ材料など,幅広い用途があります。
EDSスペクトルにおいて,ピークのオーバーラップを持つ材料のデコンボリューションと定量化は,常に分析上の課題でした。MoS2は，硫黄のK線(S)がモリブデン(Mo)のL線と強く重なる材料の一です。図1に示すように，bob电竞安全吗布鲁克の高性能EDS検出器であるXFlash^®FlatQUADを使用して，MoS₂のedsの点スペクトルを取得しました。スペクトルは,bob电竞安全吗力量のESPRIT 2分析ソフトウェアを使用してデコンボリューションおよび定量化されました。思捷环球の強力なデコンボリューションとフィッティング法は,個々のピークのオーバーラップを正しく識別し,フィットすることができました(図2,図3)。スペクトルの非標準の定量化により，化学量論的濃度に非常に近い莫とSの原子濃度を得られました。