PCRAM厚度和组成
PCRAM厚度和组成
bob电竞安全吗Bruker的x射线系统为在线过程监控和研发材料表征提供解决方案。无论是新兴存储器的复杂、多元素结构，还是更传统的PCRAM结构，我们的系统提供了精确确定和监测晶体相所需的关键信息。
串联组成监测
理想的监控相变存储器和其他新兴存储器的堆栈复杂，多元素结构，bob电竞安全吗力量的Sirius-RF该工具将x射线反射率(XRR)厚度测量与多源XRF相结合，用于测定垫层和细胞面积的成分和厚度。
例如，该系统用于测量记忆元件(GeSbTe - GST)和Ovonic阈值开关(OTS, GeAsSe)的组成和厚度，两者都是关键参数。
Sirius-RFµXRF允许在计量垫或设备区域进行在线成分监测。快速收敛束XRR允许厚度测量在1-2秒每点。
GST薄膜相变的原位研究
了解薄膜材料的相变行为对PCRAM器件的发展具有重要意义。
Non-ambient x射线衍射允许精确的确定晶体相和晶格参数作为温度的函数。
此外，x射线反射法是测定非晶GST薄膜厚度最精确的无损方法。
