表面形貌

掠入射小角散射(GI-SAXS)于1987年引入，用于探测表面和近表面区域的结构细节。在临界角以下，入射光束经历全外反射，散射信号由空气样品界面以下前几埃的结构安排产生。随着入射角的增大，入射光束的穿透深度逐渐增大。这反过来又导致散射体积的增加，从而表面敏感散射信号。如果这个入射角大于临界角，则侵彻深度急剧增大。最后，体积敏感散射信号占主导地位，表面敏感信号消失。因此，入射角的变化可以用于非破坏性深度剖面。这种物理现象也用于x射线反射率(XRR)测量，这是一种广泛用于测定垂直于表面法线的薄无定形和晶体层的粗糙度、周期性和厚度的技术。与XRR相比，GI-SAXS测量可以更直接地提供有关平面内相关性和粗糙度的信息，这两个参数都是表征多层涂层的重要参数。

掠入射小角度x射线散射(GI-SAXS)是一种结合掠入射几何形状的表面敏感性质和散射范围的技术，探测小角度区域，提供有关表面层内纳米结构和纳米颗粒的信息。散射理想地收集在二维探测器上，因为它可以访问横向和垂直的纳米结构。