fp-III
第三代飞脉冲激光修复系统
45nm生产掩模修复
Punti salienti
高速和精密掩模修复能力
的fp-III®飞脉冲激光系统是Bruker高度成功的掩光修复工具家族的最新成员。bob电竞安全吗凭借其非凡的高速和精密掩模修复能力，fp-III是当今最具成本效益的解决方案，可取代过时、老旧、速度较慢、能力较差的现有激光和FIB掩模修复系统。fp-III设计用于批量生产掩膜修复，直到45nm技术节点，包括大、小面积图像重建和通过薄膜修复。
广泛
激光烧蚀和颗粒可去除材料
包括铬、mossi、不透明mossi、SiN、石英、EUV、外来物质和持久性未知粒子
精确的
边缘位置
所有材料≤20nm(±靶距)
非凡的精度控制允许修理特别匹配指定的参考或差偏在线边缘
迭代修复
能力
femto-pulse激光
保证无吸收器或石英损坏，无热损坏，无飞溅或卷起
所有的面具
类型
45 nm节点修复
具备从EUV掩模中去除未知粒子的能力
Caratteristiche
最终控制口罩修复变得容易
我们的飞波脉冲激光修复过程是完全可控的形状，功率和脉冲的数量;独立于材料组成，材料界面或几何被删除。
此外，集成的本地模式复制功能是该系统的标准设置，便于设置和可重复的结果。
为最佳性能而设计
fp-III具有反射和传输成像的标准，以提供最好的尽可能的AIMS传输性能。
提供的年代卓越的穿膜修复和颗粒去除能力，持久的未知颗粒污染，甚至在大面积。
很多能力，没有烦恼
bob电竞安全吗Bruker的面罩修复fp-III可实现经生产验证的高速修复:
- 没有真空要求
- 没有化学反应
- 没有化学残留
- 无光束相关的电荷效应
- 不需要使用不需要的定位标记进行恒定漂移校正
Supporto
支持
我们如何提供帮助?
bob电竞安全吗Bruker与客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，并帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务持续下去，直到工具被出售。
我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级，以及应用支持和培训，使您的生产力最大化。