ESPRIT EBSD软件为设置和执行度量提供了一系列的助手和工具。
ESPRIT的EBSD功能的信号助手,自动调整采集设置,如相机曝光时间和增益。这就产生了最佳照明模式图像。只有当测量条件发生变化时才需要重新调整。
高级用户还可以使用提供的控件手动设置所有参数,允许根据特殊要求微调图案质量。
精确的图案中心校准是正确标度和避免相位错误识别的绝对必要条件。ESPRIT为EBSD提供了一个复杂的校准助手,使用当前样品自动执行此任务(不需要校准标准)。只有在改变了样品-探测器的几何形状后,如样品-探测器的距离或探测器的倾角,才需要重新校准。
专家用户也可以执行手动模式中心校准。该功能在点模式下工作,并允许手动波段检测微调,然后进行自动索引和模式中心坐标细化。
由于几种不同的原因,EBSD测量可能容易产生样品漂移。ESPRIT包含强大的漂移校正功能,也支持EBSD测量和补偿图像漂移。
阶段控制可用于舒适的自动化测量。它可以通过将视场(地图)拼接在一起,从高分辨率的大样本区域获取数据。或者,用户可以在样品表面的不同位置和放大倍数上启动多个测量任务。
包含模式和EDS光谱的非常大的数据集可以在每次测量结束时自动保存。这个函数对于无人值守的数据采集尤其有用。