膜结晶度

Brukbob电竞安全吗er JVX7300LSI系统广泛用于高级存储器中多晶薄膜的结晶度测量，如NAND中的W薄膜和DRAM中的辩证薄膜堆(如ZAZ)。

利用高强度光束和先进的探测器监测关键衍射峰的强度、位置和宽度，可以控制结晶性、相、织构和晶粒尺寸。

S频道和I频道

对于图案晶圆上测试结构的小点测量，可以增加S通道，其光斑大小为50µm × 50µm。通过可选的I通道进行平面内XRD测量，可以对超薄晶体薄膜的相和取向进行监测。

的D8发现+是布鲁bob电竞安全吗克公司的旗舰x射线衍射解决方案，用于分析超薄非晶、多晶和外延薄膜。
通过采用共面衍射(左)和非共面衍射(右)，可以垂直和平行于样品表面，以无与伦比的精度确定晶格参数和晶粒尺寸。
在5 nm厚的Mo薄膜中，晶格参数和晶粒尺寸具有较高的各向异性:垂直晶粒尺寸与薄膜厚度相等，而面内晶粒尺寸是薄膜厚度的两倍(11.4 nm)以上。

透射电子显微镜中的能量色散x射线光谱学正在详细研究存储器设计的全新方法。