带有内置Argus成像系统的SEM功能

Argus全景神话巨人回来了

像它的前任一样擎天柱2探测器头是由内置设计的阿格斯^TM值提供SEM成像功能的系统。Optimus 2在其前边缘有三个SI二极管，并在其屏幕中央有一个Si二极管，提供：

新型的BF样成像能力对于在映射过程中以及在动态实验中对样品进行近乎实时可视化的漂移校正尤其有用，例如原位拉伸测试，加热和电子透明样品的电偏置。

2.8 mpixel df样图像（左）和放大的20 nm金膜的突出显示区域，该膜沉积在无定形的si₃n₄膜上，显示了低于10 nm的双胞胎。使用800 PA的探头电流在66秒内获取图像，加速电压为30 kV。主图像中的比例尺和缩放视图图像表示400 nm和50 nm。

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从各种材料中获取的类似DF和BF的图像

使用1 nm的步骤，400 pA的探头电流和30 kV的加速电压在3 s中获得的Ru薄膜的BF样图像

使用0.5 nm的步骤，400 pa的探头电流和30 kV的加速电压，在3 s中获得的Ru薄膜的超高分辨率BF样图像

使用1 nm的步骤，800 pa的探头电流和30 kV的加速电压在3 s中获得的Ru薄膜的DF样图像

4 mpixel，平面视图的BF样图像，GE-SB-TE（GST）薄膜沉积在带有氮化硅支撑膜的TEM网格上。使用5 nm，2 Na的探头电流和30 kV的加速电压在2:05分钟内获取图像。样本由亚伦·林登伯格教授及其在美国斯坦福大学的小组提供。

4 mpixel的GE-SB-TE（GST）薄膜的平面视图DF样图像，该薄膜沉积在带有氮化硅支撑膜的TEM网格上。使用5 nm，2 Na的探头电流和30 kV的加速电压在2:05分钟内获取图像。样本由亚伦·林登伯格教授及其在美国斯坦福大学的小组提供。

使用1 nm的步骤，700 pa的探头电流和30 kV的加速电压在8 s中获得的Ru薄膜的BF样图像

使用0.5 nm的步骤，700 pA的探头电流和30 kV的加速电压，在8 s中获得了Ru薄膜的BF状图像

使用1 nm的步骤，700 pa的探头电流和30 kV的加速电压在8 s中获得的Ru薄膜的DF样图像

使用0.5 nm的步骤，700 pA的探头电流和30 kV的加速电压，在8 s中获得的Ru薄膜的DF样图像

PT薄膜的平面视图df样图像沉积在Si Wafer底物上，并使用凹痕方法进行了稀释。使用2 nm的步骤在14 s中获取图像，探头电流为1.7 Na，加速电压为30 kV。感谢来自德国Leica Microsystems的WolfgangGrünewald博士，以准备/稀疏TKD样本。