High-k结晶度

从finfet到纳米片器件，高k金属栅和其他金属/氮化膜的晶体性质对先进逻辑器件的性能至关重要。利用x射线衍射可以测量薄膜的结晶度。然而，高k薄膜有一个额外的挑战:通常它们的厚度小于2nm。

bob电竞安全吗Bruker Semi公司在JVX7300LSI系统中引入了全自动平面内衍射技术，用于在生产环境中监测高k薄膜的晶粒尺寸和结晶度。在这个例子中，3个薄膜在不同的温度下生长和退火。D05和D06的XRD图谱重叠，表明晶相相同;而D04样品的XRD图不同，表明结构发生了相变化，从而导致介电常数的变化。此外，晶粒尺寸增大，这将导致高k层的电学性能变差。

的D8 DISCOVER Plus是Brbob电竞安全吗uker的旗舰x射线衍射解决方案，用于分析超薄的非晶、多晶和外延薄膜。通过共面衍射(左)和非共面衍射(右)，可以在垂直和平行于样品表面的情况下，以无可比拟的精度确定晶格参数和晶体尺寸。在5 nm厚的钼膜中，观察到晶格参数和晶粒尺寸的高度各向异性:垂直方向的晶粒尺寸与膜厚度相等，而平面内的晶粒尺寸是膜厚度的两倍多(11.4 nm)。