洞察力帽
在线计量结果在几分钟内，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制
蚀刻和CMP的无损计量
突出了
外形紧凑的高性能剖面仪和AFM
bob电竞安全吗Bruker的InSight CAP自动原子力分析器是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻测量的组合平台。灵活的配置，支持晶圆尺寸从100毫米到300毫米，使精密测量范围广泛的终端应用。bob平台靠谱吗从高效的实验室到完全自动化的晶圆厂，InSight CAP分析器可以优化配置为最具成本效益的计量解决方案。
< 0.5 nm
长期动态再现性
直接，稳定的在线计量关键工艺决策
事实上
自动化CMP计量的灵敏度
专用的洗碗和侵蚀计量包，为无与伦比的过程控制和发展
< 20海里
平面度大于26mm
高精度后cmp平面度测量技术，适用于关键EUV光刻技术的开发和过程控制
特性
在线计量结果分分钟完成，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制
在先进的技术节点上，多图案光刻技术对CMP提出了纳米级的工艺控制要求，以满足焦深的需求。InSight CAP围绕最新一代AFM扫描仪构建，提供改进的平整度，小于10纳米，超过65 μm X / Y扫描范围。该系统的NanoScope®V 64位AFM控制器提供了5倍更快的接合性能和5倍更快的调优，提高了生产力，所有这些都增强了可靠性。它的DT自适应扫描模式也有助于更快的扫描和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了先进的功能，能够实现埃级的精度测量宏观上的冲刷和侵蚀。
灵活的配置，支持晶圆尺寸从100毫米到300毫米，使精密测量范围广泛的终端应用。bob平台靠谱吗从高效的实验室到完全自动化的晶圆厂，InSight CAP分析器可以优化配置为最具成本效益的计量解决方案。
支持
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我们如何提供帮助?
bob电竞安全吗Bruker与客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，并帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务持续下去，直到工具被出售。
我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级，以及应用支持和培训，使您的生产力最大化。