粗糙地形材料的EDS定量分析

对于可靠的EDS定量，对样品和探测器几何形状的准确了解是必不可少的。然而，对于地形粗糙的材料，很难知道获得光谱点的局部样品几何形状。改进定量的一种方法是在样品旋转的情况下获得多个光谱。这将模糊样品形貌对定量的影响，使结果更接近化学计量浓度。

图1给出了一种三元合金的SE图像，具有粗糙的样品形貌和认证的浓度值(元素a = 33.4%，元素B = 41.3%和元素C = 25.3%的质量百分比)。为了评估材料组成，在样品表面采集了5个点光谱(图1a)。将样品旋转180˚，获得了5个点光谱，与之前的位置几乎相同(图1b)。平均光谱显示材料的组成:元素A = 33.5%，元素B = 40.8%，元素C = 25.7%，非常接近认证浓度。测量粗糙表面的一种方便的方法是使用布鲁克独特的EDSbob电竞安全吗XFlash^®FlatQUAD探测器。