硬质涂层纳米压痕导论课程

纳米压痕是一种广泛用于测量小尺度机械性能的技术，包括薄膜和涂层。本文从开始到结束详细介绍了测量工装涂层的技术。这些PVD和CVD涂层是作为一个例子，结合寻找平衡的要求粗糙度，厚度和非凡的硬度。

关于如何执行纳米压痕技术，有许多考虑因素是入门用户无法立即理解的。首先介绍了在简单基板上测量硬度和模量的方法。然而，测量真实样本很少符合这个理想。然后，通过测量具有有限粗糙度和涂层厚度的样品，引入了与这一理想的偏差。从本质上说，这些复杂性是相互冲突的，因为增加测量深度将减轻粗糙度的影响，但将逐渐给涂层和底层加工基板的混合响应。因此，选择最佳深度对于获得精确的刀具涂层测量是非常重要的。给出了四种不同的商用氮化涂料的试验结果。