pHEMT表征

HRXRD是测定外延层的有效方法。的bob电竞安全吗力量QCVelox-E是目前epi监测领域的领先产品，广泛应用于复合半导体行业。一个关键的应用是监测用于射频器件的pHEMT结构中的外延层。这些结构包含InGaAs, AlGaAs和GaAs层的组合，单个组成和厚度对性能至关重要。使用HRXRD可以在几分钟内精确确定这些参数，并进行全自动测量和RADS分析。

可选配SECS-GEM工厂主机软件和机器人加载，完成系统自动化。

组成、应变状态和层厚度是决定hemt或激光结构等半导体器件性能的关键参数。
高分辨率x射线衍射是选择的分析方法，当它涉及到以最高的精度确定这些参数。

bob电竞安全吗布鲁克的x射线衍射旗舰解决方案D8 DISCOVER系列配备了领先的x射线源和探测器、高分辨率光学器件和样品平台，可以进行大型晶圆测绘。
的D8发现结合了XRD性能和易用性。自动化测量和分析程序使其成为研究和工艺开发中半导体异质结构研究的完美解决方案。